Intelが現地時間2022年6月13日から始まった半導体分野の学会「2022 IEEE Symposium on VLSI Technology & Circuits(VLSIシンポジウム)」で、2023年リリース予定の製品に採用している「Intel 4」プロセスノードの詳細を発表しました。

Intel Debuts Intel 4 Technologies Among 13 Papers at the 2022 VLSI Symposium
https://www.intel.com/content/www/us/en/research/news/2022-vlsi-symposium.html

Intel Debuts Meteor Lake Die, 'Intel 4' Node: 20% Higher Clocks at Same Power, 2X Area Scaling | Tom's Hardware
https://www.tomshardware.com/news/intel-debuts-meteor-lake-die-intel-4-node-20-higher-clocks-at-same-power-2x-area-scaling

Intel 4 Process Node In Detail: 2x Density Scaling, 20% Improved Performance
https://www.anandtech.com/show/17448/intel-4-process-node-in-detail-2x-density-scaling-20-improved-performance

Intel advances to make upcoming chips faster, less costly • The Register
https://www.theregister.com/2022/06/13/intel_4_chips/

Intel tries to get its chip manufacturing back on track with “Intel 4,” due in 2023 | Ars Technica
https://arstechnica.com/gadgets/2022/06/intel-tries-to-get-its-chip-manufacturing-back-on-track-with-intel-4-due-in-2023/

「Intel 4」は「7nmプロセスノード」「7nmプロセスルール」と呼ばれていたもので、2020年にプロセス開発が遅れていることが明かされていますが、なんとか2023年発売予定のPC向けCPU「Meteor Lake」やサーバー向けチップ「Granite Rapids」に採用されるとのこと。

Intel 4開発担当のベン・セル氏によると、Intel 4はIntel 7と同じ電力でパフォーマンスが約21.5％向上しているとのこと。これは、同じ周波数レベルを40％少ない電力で提供可能といえます。このことから、Meteor LakeやGranite Rapidsは性能向上だけではなく、効率の向上も期待されています。

セル氏らの開発チームによる最大の改良点は、短波長紫外線を用いてシリコンウェハーに小さなパターンをエッチング加工するEUVリソグラフィーの採用で、これによりプロセスを簡略化し、従来はエッチング時に必要だった5層のレイヤーを1層に減らせたとのこと。

今後、IntelはIntel 4をさらに高密度化した「Intel 3」へと移行することで、従来のIntel 7で苦しんできた遅延や歩留まりの問題を回避したい考えだそうです。