ターボ分子ポンプによって、SHRIMP内のイオンが通過する経路の空気が外部に排気され、イオンの透過率が最大化され、空気によってイオンの汚染を減らしている。また、試料チェンバーはクライオポンプを利用して、水を中心とした汚染物質をせき止めている。一般的にSHRIMP内部の圧力は、検出部では~7.0 x 10−9mbar、一次イオンカラムでは~1.0 x 10−6 mbarである[27]。
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ISBN9781629490144