この項目では、日本の作詞家・作曲家について説明しています。 ポップスユニットSeptemberのボーカルRieについては「歌心りえ」をご覧ください。 反応性イオンエッチングについては「RIE」をご覧ください。

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Rie（りえ）は、日本の作詞・作曲家、ボーカルユニットのメンバーである。

デビュー当時の個人名及び別名は宮島理絵。 姉の宮島律子と共に音楽ボーカルユニットとして活動を始め河合奈保子のバックバンドのボーカリストのオーディションに合格し「MILK」を結成、1985年に西城秀樹、河合奈保子らのバンドコーラス「Natural&MILK」として活動開始し後にソロにて多数のアーティストへの楽曲提供などもしている^[1]。

AKB48関連

• AKB48
  • ロマンス、イラネ（作曲）^[2]
  • Don't disturb!（作曲）^[2]
  • ボーイフレンドの作り方（作曲）^[2]
  • アイドルの夜明け（作曲）^[2]
  • 夢でKiss me!（作曲）
• SKE48
  • ロープの友情（作曲）^[2]

SMAP

• Flapper（作曲）^[2]

ともさかりえ

• エスカレーション（作曲）

中森明菜

• Grace Rain（作詞・作曲）^[3]
• LOVE GATE（共作詞・作曲）^[3]
• Only you（作詞・作曲）^[3]

mihimaru GT

• 恋する気持ち（共作詞・作曲）
• 恋する気持ち ～5 years later～（共作詞・作曲）

ポケットモンスター関連

• バトルフロンティア（作詞・作曲）
• Together（作曲）
  • Together2007（作曲）
  • Together2008（作曲）

稲森光香

• ふんわか・おれんじ（作曲）

• 河合奈保子
• 宮島律子

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反応性イオンエッチング (はんのうせいイオンエッチング、Reactive Ion Etching; RIE) はドライエッチングに分類される微細加工技術の一つである。

原理としては、反応室内でエッチングガスにマイクロ波等の電磁波を照射することによりプラズマ化し、同時に試料を置く陰極に高周波電圧を印加する。すると試料とプラズマの間に自己バイアス電位が生じ、プラズマ中のイオン種やラジカル種が試料方向に加速されて衝突する。その際、イオンによるスパッタリングと、エッチングガスの化学反応が同時に起こり、微細加工に適した高い精度でのエッチングが行える。

通常のドライエッチングと違い、異方性エッチングも出来ることが特徴である。

磁性体は反応性イオンエッチングの難しい遷移金属元素を主成分としており、さらに多くは多結晶体であるため、化学的組成や結晶構造の違いを問題としない汎用プロセスの開発が難しく実用化への障壁となっていた。一酸化炭素（CO）ガスを用いたプラズマにアンモニア（NH₃）ガスを加えたことでCOプラズマで鉄のエッチングを試みると不均化反応によってCOがCとCO₂に分かれて鉄と反応することで蒸発しにくい炭化鉄が生成されるが、NH₃ガスを加えるとCOのまま鉄と反応するため、蒸発しやすい鉄カルボニルが生成され、エッチングが可能になる^[1]。

• 容量結合型(平行平板型)(CCP-RIE:Capacitive Coupled Plasma-RIE)
• 誘導結合型(ICP-RIE:Inductive Coupled Plasma-RIE)
• ECR-RIE(Electron Cyclotron Resonance-RIE)

• 深掘りRIE
• ドライエッチング
• ウエットエッチング

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