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OSF
おー・えす・えふ
①
シリコンウェハ
の
表面
や
内部
に
生じ
る
結晶欠陥
の
1つ
で、
酸化
により
誘起され
る
積層欠陥
。
ウェハ
表面
のOSFは
表面
近傍
の
残留歪み
や
汚染
なと、
内部
のOSFは
過飽和
含有
酸素
の
析出物
に
起因する
。 ②
ウェハ
の
表面
を
熱酸化
して
積層欠陥
を
誘起
し、
表面
の
ダメージ
を
評価する
方法
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OSF
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2023/07/06 08:19 UTC 版)
Open Software Foundation
オープン・ソサエティ財団
(
Open Society Foundations
)
オクラホマ州財務局 (
Oklahoma Office of State Finance
)
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