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モノシラン【monosilane】

読み方：ものしらん

珪素(けいそ)の水素化物、シランの一つ。半導体、太陽電池など高純度珪素の製造原料となる。シリコメタン。化学式SiH4


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シラン

分子式：H4Si
その他の名称：Silane、Silicon hydride、シリコメタン、モノシラン、Silicomethane、シラン、Monosilane、Silicane、シリカン、シリコンヒドリド、水素化けい素、Tetrahydridesilicon
体系名：テトラヒドリドけい素

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