読み方:えむえるでぃー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2019/09/02 06:24 UTC 版)
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/10/19 08:12 UTC 版)
分子層堆積法(Molecular Layer Deposition)。有機物ポリマーを膜材料とした成膜をALDプロセスで行う。超格子の製造などに使われる。
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